实验室气体流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型气体流量计的传感元件包括两个热电阻（铂RTD），一个是速度式气体用传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度式气体流量计。